ウェハ洗浄用超純水製造技術

摘要

超純水中の微量金属イオン吸着膜を開発した。 PEを基材として放射線グラフト法によりカチオン交換基を導入した吸着膜は，TOCの溶出が少なく，優れた立ち上がり性を示した。 吸着膜によって処理した超純水中の金属イオン濃度は定量下限の0.1 ng/l以下 (ICP－ms法）であった。 また，同じ処理水を用いてウェハを洗浄することにより，ウェハ表面への金属付着も，ほとんどの元素で定量下限以下となる。