集積化CMOS-MEMS技術

摘要

CMOS技術とMEMS技術を融合した集積化CMOS-MEMS技術について述べる．本技術は小形·薄形化，高機能化，高精度化，量産化などが図れる． 従来技術の動向と集積化CMOS-MEM技術の位置付けを述べ，プロセス及び技術的課題について概説する。応用例として，約6万のMEMS可変容量とセンサ回路により高感度化を実現したMEMS指紋センサや複数RF MEMSスイソチのCMOSによる3.3V制御を実現したSPSスイッチにっいて述べ，CMOS回路とMEMSデバィスの融合により期待される今後の展望について述べる．