動く対象物の断層図取得、三菱電機の非破壊検査向け技術

摘要

三菱電機は、300GHz帯のテラへルツ波を使って、1方向から1回の照射により任意の深さで対象物の断層イメージを取得できる技術を開発した。生体への影響が小さく、移動する対象物も数mmの解像度で撮像できるという。例えば、工場のベルトコンべヤーなどを流れる対象物の非破壊検査に活用できる。1方向からテラへルツ波を1回照射して対象物の断層イメージを得る「バーチャル·フォーカス·イメージング技術」と、複数のイメージを合成し誤検出を低減する「マルチモード·ビーム·フォーミング技術」を組み合わせた。従来の物理ビームイメージング技術では、「ゴースト」と呼ぶ誤検出が発 生する。ゴーストの解消には、多数のアンテナ素子を有する大型の装置が必要だった。それに対して開発技術は、広帯域な信号を有するテラヘルツ波を使い、周波数ごとに異なるビーム形状を形成できる。さまざまな周波数での撮像結果を組み合わせることで誤検出を低減し、アンテナ素子数を減らした。