УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ ПЕРЕПАДА ДАВЛЕНИЯ С ПРИМЕНЕНИЕМ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОЙ ОТКАЧКИ

摘要

Приводится описание конструкции выпускного устройства электронов с использованием дифференциальной откачки. Дана оценка условий перехода от вязкостного режима к молекулярному, позволяющая подтвердить правильность выбора параметров системы дифференциальной откачки. Решена проблема теплосъема с диафрагм системы дифференциальной откачки в компактном цельнометаллическом корпусе выпускного устройства.