Использование слоев из поликристаллического алмаза для создания чувствительного элемента высокотемпературного датчика давления

摘要

Проанализированы свойства структур на основе полупроводниковых широкозонных материалов. Подробно рассмотрены конструкция и технология изготовления чувствительного элемента датчика давления на основе поликристаллического алмаза. Предложенная конструкция датчика давления работоспособна в диапазоне давлений от 0,1 до 10 МПа и в диапазоне температур от -60 до 400 °С.