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机译:RF MEMS开关中的材料选择方法和制造方法
Rajiv Gandhi Univ Dept Elect &
Commun Engn Doimukh India;
NERIST Dept Elect &
Commun Engn Nirjuli India;
Micro-electromechanical systems; MEMS switch; beam membrane; dialectric material; micromachining process; CMOS-MEMS; Ashby's methodology; material selection; fabrication method; microstructure;
机译:RF-MEMS开关的介质材料选择研究RF应用方法
机译:减轻经受循环测试的欧姆RF-MEMS开关中电荷俘获现象的研究方法和方法
机译:设计和制造对电容式RF MEMS开关的RF性能的影响
机译:使用MCDM技术对RF-MEMS开关材料选择的电力处理能力的影响
机译:RF MEMS开关采用新颖的材料和微加工技术,用于SOC / SOP RF前端。
机译:可向低压和快速响应的RF-MEMS开关横向移动的三电极驱动器
机译:通过几何修改和材料选择对RF MEMS电容耦合并联开关的DC和RF特性进行操作分析
机译:纳米技术增强型RF mEms开关润滑剂