超高真空用配管とその接合·接続：「配管」ではなく「真空容器」としての必要条件を考える

摘要

超高真空用配管と、その接合·接続技術は外部からの空気漏れを防ぐことのみに特化すればよいと思われがちだが、超高真空装置の運用において特徴的な種々の要求事項をクリアしつつ、それ自体からの気体放出を低減することが重要である。