ナノテクノロジー開発に有効な評価技術－光を使ったサブミクロン·ナノ粒子径分布計測技術

摘要

粒子径の測定は、粒子の大きさによって物理的挙動が異なる測定原理を利用して行われる。 装置原理によっては、同じ原理の装置でも装置構成や内部演算アルゴリズムが異なると、測定結果が異なることがある。 こういった事情もあり、粒子径測定には、粒子径分布測定結果を相対測定値として扱われることが多い。 相対測定として扱っても、生産管理の指標とした粒子径分布は非常に有用な結果をもたらす。 試料粒子のサンプリングによっても測定結果が異なるため、測定手順を確立すると測定再現性が一層向上する。1次、2次標準試料を使用して、装置校正や装置、生産プロセスのバリデーションを行うことができることも特徴の一つである。本稿では、ナノ粒子の粒子径分布の情報を得るために、光を利用したレーザ回折／散乱と動的光散乱の原理に基づいた粒子径計測技術について装置測定原理、設計コンセプト、特徴·仕様、ナノ粒子測定事例について解説を行う。