机译:马赛克靶磁控溅射中薄膜层元素组成的计算
УО "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники";
УО "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники";
УО "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники";