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The design and technology of test matrix making for electrophysical investigation of film current conducting systems

机译:薄膜电流导电系统电神法研究的试验矩阵的设计与技术

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摘要

The drop-in and geometry design photomask for testing metallization of VLSI was constructed on base experimental investigation of construction and technology especially of array testing.
机译:用于测试VLSI的金属化的掉落和几何设计光掩模是在阵列测试的基础实验研究中构建。

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