次世代超大型ガラス基板FPD工場の生産革命動向：G8対応縦型枚葉評価装置－四探針法と非接触渦電流法シート抵抗測定による膜厚管理の動向よわが社の開発

摘要

サッカーのワールドカップ、冬季五輪の年でもあり、薄型テレビ市場は活況である。 そのため液晶とプラズマの大型設備投資の前倒し計画が日本、韓国で相次いで発表されている。 また、台湾の液晶投資も一時期の過当的な投資ほどではないが、2～3社は積極的に計画を発表している。 フラットパネルのサイズは、G8（2,160×2,400/2,460、2,200×2,500など）、G9（2,400×2800－計画案のため未確認）となり、それに伴う装置の大型化、複合機能化など、解決しなくてはならない問題がいろいろある。 すなわち、評価装置として測定の精度を維持しかつ、複合機能を持ち合わせフットプリントを小さくすることが重要な課題となっている。 本稿では、膜厚測定（シート抵抗）の基本機能とその技術を概説し、更に当社の新方式の開発動向を紹介する。