クリーンルームにおける静電気対策：今後の静電気対策及びクリーン化技術－『STポリ』による樹脂成形品の導電化及びクリーン化技術

摘要

半導体工業、電気·電子工業における技術の発展により、製品の高集積化·精密化が進み、それに伴い製品に付帯する生産設備や容器等はより清浄度（クリーン性）の高いものが求められている。 また、その清浄度も従来の粒子状汚染物質（パーティクル）を中心とする清浄度の制御だけでは不十分となり、生産設備や容器等から発生する有機ガスや金属イオン等のケミカルコンタミネーションの低減が必須の管理項目になってきた。 本稿では、今後の半導体プロセスにおける静電気対策及びクリーン化技術について、パーティクルコンタミネーション及びケミカルコンタミネーションの双方にて清浄度管理に有効な素材として、当社が開発した導電性ポリマー『STポリ』を紹介する。