機能水製造装置システム：脱気水/ガス溶解水/オゾン水製造装置 D/R/Oシステム

摘要

LCD製造、LSI製造、シリコンウエハ製造などエレクトロニクス分野での精密洗浄プロセスにおいて、環境意識の高まりと製造コスト低減のため、超純水及び薬品使用量の低減が求められている。 機能水は超純水にガスを溶解し、また、必要に応じて微量の酸/アルカリを添加してpHを調整したものである。 そのため排水後も超純水に溶解させたガスは容易に除去可能であるので排水処理は容易で、また必要に応じて添加される酸/アルカリもppmレベルであり、薬品使用量やリンス用超純水の削減が可能となる。