純水極微量金属汚染とウェーハ汚染量の相関：純水中の極微量はウエーハにどの程度付着するのか

摘要

金属濃度サブppt～pptの強制汚染純水を調製できる装置により、ウェーハに付着する金属量を求めた。アルカリ金属及び酸化物イオンとなる金属はウエーハに付着せず、それ以外は、ほぼ純水濃度と比例して付着した。ウェーハ膜種による付着量の違いもわかった。