PFCガス処理向け新世代プラズマ式排ガス処理装置：ロングアークプラズマを用いたPFCガスの分解処理

摘要

大気圧プラズマは温室効果ガスであるPFCガス削減のための先端技術のひとつとして、現在注目を集めている。大気圧プラズマによるPFCガス処理システムは、CF4、SF6といったガスを容易に分解処理することができる。また、迅速なスタートアップやシャットダウンが可能であり、かつガスの使用量が少ないため排ガスシステム全体への負担が小さい。大気圧プラズマのなかでも、アークを長距離放電させる「ロングアークプラズマ」が、他の方式に比べて優れた特性を有することが分かってきている。