产业机器におけるモ一タドテイブシステムの開発動向

摘要

工業製品や生活機器は絶えず改良され、より魅力的な新しい製品の開発に向けて世界の各社がしのぎを削っている。 最近ではFA機械の高速化を実現する目的で、リニアモータの利用が活発となっており、特に、半導体製造二に程におけるモータドライブシステムにおいては、サブミクロン以下の位粁決めを必要とする遇精密制御が求められている。