液晶製造工程から排出されるリン酸を主成分とする廃酸からの酸の分離回収

摘要

液晶製造プロセスから排出されるエッチング廃液に溶媒抽出法を適用して，リン酸，酢酸および硝酸を含む廃混酸から酢酸および硝酸を抽出分離して，抽残液としてリン酸を残す分離プロセスの構築を行った．酢酸および硝酸を抽出するための抽出剤として，リン酸トリオクチル（TOP）を用い，リン酸，酢酸および硝酸の抽出と剝離に関する基礎実験およびミキサーセトラー抽出装置を用いた実証試験を行った．TOPを用いると，リン酸を主成分とする廃混酸から酢酸および硝酸を選択的に抽出分離することができる．エッチング廃液に相比（A/O）0.4，6段の向流抽出を適用すると，酢酸と硝酸をほぼ完全に抽出分離できる．酸を抽出したTOPと純水とを相比（O/A）1.0，4段の向流剝離の条件で接触させると，酢酸と硝酸がそれぞれ99％および99.5％剝離できる．得られた基礎実験の結果を基にして，ミキサーセトラー抽出装置を用いて実証試験を行った．その結果，廃混酸中の酢酸および硝酸の抽出率はそれぞれ約95％，98％となり，抽残液に粗リン酸を得ることができた．