ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ НА ОСНОВЕ МИКРОНАГРЕВАТЕЛЬНЫХ ПЛАСТИН И ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ И ПОВЕРХНОСТНОГО МОНОСЛОЯ НАНОЧАСТИЦ

摘要

Разработаны микрогазоанализаторы на основе микронагревательных пластин и тонких пленок оксидов металлов и поверхностного монослоя наночастиц. Применение предложенной технологии микроэлектронной обработки поверхности микросхемы обеспечивает возможность создания микроэлектронных элементов с минимальным уровнем потребления энергии (порядка нескольких сотен мВт), которые предназначены для работы в диапазоне температур до 300°C. Нагревательный элемент представляет собой тонкую мембрану с низкой теплопроводностью. Основные категории и технологии напыления рассмотрены в таблице.