超音波ユニットとソシオ自動洗浄装置－精密洗浄超音波ユニットGSシリーズ

摘要

昨今、液晶業界の洗浄物といっても超小型液晶セルから65インチ大型TV液晶まで多種多様な物（写真1）があり、洗浄技術の向上を強く要求されてきた。 弊社は、2000年4月に設立された新しい洗浄装置メーカーであり、これらの要求を解決しながら成長している（→弊社の答えは文末写真9）。 特に、フラットパネルディスプレイの洗浄技術開発及びインライン化を進めてきた。 ここでは、新たに付加機能を加えて改良·販売を開始した超音波発進器／振動板GSシリーズと、弊社が開発した洗浄装置について紹介する。