超音波パワー循環型直交駆動法を用いたΠ型構造を有するコイル状ステータ超音波モータの構造と特性

摘要

筆者らは、CS-USMのトルク及び効率を向上させるために、超音波パワー循環型音響導波路の外側に振動子を取り付け、インピーダンスが不均一な音響導波路を用いず、直交駆動法を維持したΠ型構造を有するCS-USMを作製した。本稿ではΠ型構造を看するCS-USMの駆動原理および、性能について述べる。