球面収差補正器を搭載したSTEMによる原子分解能二次電子像

摘要

走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）は，長年，産業·材料解析分野に幅広く用いられ，数nmから数μmオーダーの物体，材料の観察·分析に供されてきた。SEMは試料から発生した二次電子（Secondary Electron，SE）を信号として像形成し，表面の形状観察，深い焦点深度，立体的な像，試料準備·作製の容易さなどの特徴がある。従来SEMの分解能は一般的に1nm程度であると言われていた。冷陰極電界放出形電子銃（Cold Field Emission，CFE電子銃），in－lens型対物レンズを搭載したSEM，SU9000（日立ハイテクノロジーズ製，2011年発表）では，加速電圧30kVでの分解能0.4nmを達成している。