面内ヘテロ構造基板上の有機薄膜成長

摘要

有機薄膜トランジスタをボトムコンタクト型で作製する時，あらかじめ電極を配置した基板上へ有機分子を成膜することになる。一方，ゲート絶縁膜上への成長を考えた場合?良く使用されるSiO2基板やポリマー基板は非晶質であるためその上に形成する薄膜の配向の制御が難しく，あらかじめ構造を作製した基板上へ成長させることによって成長制御を行おうとする研究がある。