回転ドラム式メッキ装置によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発に関する研究

摘要

結晶系シリコン太陽電池の基板であるシリコンのウエハスライシングには，電着ダイヤモンドワイヤ工具（以下，ワイヤ工具と呼ぶ）が使用されているが，本ワイヤ工具の低コスト化には高速作製することが必要不可欠である．本研究では，ピアノ線にダイヤモンド砥粒を高速で電着させるために，ピアノ線とダイヤモンド砥粒の移動速度差を抑えながら電着が可能なドラム式メッキ装置を考案した．そして，試作したメッキ装置を用いたワイヤ工具高速作製法の有用性に関して，実験的に検討するためにΦ120 μmのピアノ線を用いてワイヤ工具を試作し，電着性や試作したワイヤ工具切断性能を評価した．そして，ワイヤ工具の最適作製条件を検討した．