МЕТОД СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ СФОКУСИРОВАННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ И ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС НА ЕГО ОСНОВЕ

摘要

Рассмотрена реализация фотолитографического процесса, основанного на синтезированных голограммах сфокусированного изображения, работающих совместно с объективом невысокого качества. Обоснована перспективность применения данной системы для решения проблем ультракоротковолновой фотолитографии. Разработан метод синтеза голограмм сфокусированного изображения, основанный на составлении таблиц соответствия. На его основе создан программный комплекс синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов сфокусированного изображения. Показаны возможность и перспективность использования комплекса в решении фотолитографических задач.