第1章 小型モータを活用するための基礎知識：設計演習で理解する小型モータの特性と選定のポイント③－リニアサーボモータ編

摘要

リニアモータは，主に交通用用途と産業用用途で利用されており，可動物を直線的に移動させるモータである。 交通用用途では，リニアモータカーや地下鉄などで用いられており，産業用用途では，半導体製造装置やNC工作機械，搬送などに用いられている。 交通用用途では誘導形リニアモータを用いることが多く，産業用用途では永久磁石式リニアモータを用いることが多い。 従来，産業用用途で可動物を直線的に移動させるためには，ボールねじをサーボモータで駆動する方式が用いられていた。しかしながら近年，高速·高精度運転が要求されるようになり，リニアモータで駆動する方式が用いられることが多くなってきた。特に半導体製造装置やNC工作機械などでは，高速移動·高精度位置決めが要求されるため，ボールねじ駆動に代わってリニアモータ駆動が用いられるようになっている。ここでは，交通用用途に用いられることが多い誘導形リニアモータに言及しつつ，主に制御用モータとして広く利用されている産業用用途のリニアモータについて特徴や原理などを詳細に述べる。