リニアモータ搭載の工作機械の最新情報：小型リニア機による高精度·高速·微細加工

摘要

最近の多様化する製品群の時代の流れで何処よりも早く、高機能で安価な商品を市場に出すべく、より高精度·微細·高能率化する「ものづくり」要求が多くなってきている。 今まではエッチング、放電などの電解に依存していた製品を高精度·微細·高能率な切削加工に移行されるようになってきた。 このような流れのなかで微細加工機としての高生産·高精度を追及した機械加工に置けるnm （ナノメートル）の一歩手前のμm（マイクロメータ）を実現した機械が「NANO-21」である（図1）。