FSWによるヒータ埋設技術（サセプターヒータ）の開発

摘要

液晶パネルの用途として，液晶テレビ以外のスマートフォン，タブレットPCなどでの液晶パネルの需要が拡大している。これらの液晶パネルでは高精細化，高機能化，低消費電力化が求められるので，液晶パネル製造メーカではアモルファスSi-TFTパネルからLTPS（低温ポリシリコン）パネルに変更している。このLTPSパネルを製作するためには，プラズマCVD工程での処理温度を400°C以上にする必要があり，高温でも使用できるガラス基板加熱用ヒ一夕（以後，サセプターヒ一夕）が必要とされている。このサセプターヒータはアルミニウム厚板にシースヒータが埋設されているのが一般的である。