НЕЛИНЕЙНЫЕ КАЛИБРОВОЧНЫЕ ЗАВИСИМОСТИ В МЕТОДЕ ВТОРИЧНО-ИОННОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГЕТЕРОСТРУКТУР GESI С НАНОКЛАСТЕРАМИ

摘要

Впервые в практике вторично-ионной масс-спектрометрии получена нелинейная калибровочная зависимость для отношения кластерных и элементарных вторичных ионов германия Ge_2/Ge, не содержащая вторичных ионов кремния, что позволяет проводить количественный анализ концентрации германия в гетероструктурах Ge_xSi_(1-x) во всем диапазоне x: 0