МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОТВЕСНЫХ УЧАСТКОВ КУСОЧНО-НЕПРЕРЫВНОГО ПРОФИЛЯ ПРИ ОДНОСТАДИЙНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ ДОЭ НАКЛОННЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ПУЧКАМИ

摘要

Представлены результаты моделирования важнейшей составляющей одностадийной технологии записи киноформных линз в толстых слоях фоторезистов с повышенной дифракционной эффективностью, реализуемой за счёт формирования обратных скатов зон Френеля с крутизной до 90° с помощью наклонных лазерных пучков. Показано, что подобная методика записи объёмных структур в фоторезистах с малым контрастом (к = 3) позволяет существенно увеличить крутизну обратных скатов зон, а в фоторезистах со средним контрастом (к = 10) - формировать практически отвесные скаты.