フィルタードアーク蒸着による水素フリースーパーDLC成膜

摘要

真空アーク蒸着法は，工業的生産が可能な機能性薄膜の形成手法であり，その高機能版にフィルタードアーク蒸着法がある．本稿では，真空アーク蒸着法およびフィルタードアーク蒸着法の基礎，同法を用いて水素フリーの高硬度DLC（スーパーDLC）を形成する技術，さらにその膜特性の一部について紹介する．