抵抗炉技術の最新動向－スペリア式熱処理設備,雰囲気制御付き真空浸炭炉を中心に

摘要

真空浸炭炉内の雰囲気ガス組成に敏感に反応するセンサによりカーボンポテンシャルのフィードバック制御を実現した真空浸炭炉の開発は世界の先駆である。本稿では，雰囲気制御付き「VCQ型真空浸炭炉」とバッチ型設備である「BBH型真空浸炭炉」を中心に，抵抗炉技術の動向を紹介する。