更なる廃熱回収への取り組みによる燃料の削減

摘要

当社は寒冷地に立地している半導体製造工場であり冬期間はクリーンルーム空調及び純水加温に大量の蒸気を必要としている。過去より冷凍機や純水装置からの廃熱を回収してきたが，今回，更なる省エネと燃料コスト抑制を目的に，工場内廃熱利用の拡大に向けて今まで未回収だった下記の廃熱回収を実施した。工場排水廃熱回収：廃熱を工業用水の予熱に活用。エアコンプレッサ冷却水の廃熱回収：廃熱をクリーンルーム空調の外気加温に活用。製造装置用冷却水の廃熱回収：廃熱をクリーンルーム空調の外気加温に活用。