2段スクリュー式ドライ真空ポンプ（vigo-vac）

摘要

今回開発した，2段スクリュー式ドライ真空ポンプ（写真-1，図-1参照）は，半導体製造装置の真空容器の排気用として使用される。このようなポンプは1工場で300～6,000台あり，24時間365日連続で使用され，その消費電力は半導体工場全体の約20％を占めている。 近年，地球温暖化対策および製造コスト削減のために，ポンプへの省エネルギー化のニーズが強まってきている。 このようなニーズを満たすために，"全く新しい発想"の世界初の2段スクリュー式ドライ真空ポンプを開発した。 本ポンプでは，従来ブースターポンプをルーツ式ローターで構成していたものを，世界で初めてスクリュー式ローターで構成し，低圧領域における圧縮比を大幅に向上させ，トータル消費電力の85％を使用する大気側のメインポンプを小型化することに成功した。これにより，従来排気速度4,000L/minクラスで1.6～3.2kW程度であった消費電力を，0.75kWと平均65％（54～77％）の削減を実現し，半導体製造工場における消費電力全体の約8％の削減を可能とした。