Исследована микроструктура высокоогнеупорных (до 2000 deg C) силицидных покрытий на молибдене в процессе их зарождения и роста. Определено влияние отдельных технологических факторов обработки и исходных характеристик молибденовой подложки на микроструктуру получаемых силицидных слоев. Для силицидов определены фазовый состав, средний размер зерна, распределение зерен по размеру. Показана возможность регулирования микроструктуры силицидов.
展开▼
