物質の最表面における分子の挙動解析技術：測定と計算を組み合わせた複合解析でナノデバイス性能を支配する表面物性を解明

摘要

ナノメートルスケール（以下，ナノスケールと略記）のモノづくりでは，材料の最表面に存在する原子の物性がデバイス性能に大きな影響を与えます。そのため，材料の表面物性を正しく理解することが，電子デバイスの特性を制御したり電子源材料や電池材料の性能を十分に引き出したりするうえで不可欠になります。東芝は，超高真空装置を用いた表面分子の振動測定とコンピュータシミュレーションを組み合わせて，材料最表面の特性を複合的に解析する技術を開発しました。これによって，材料表面における分子の反応をナノスケールで把握することができるようになりました。