机译:微硬度和相组合物的依赖性研究(从真空电弧放电等离子体沉积时真空室中的零件位置的依赖性
Уфимский государственный авиационный технический университет;
Уфимский государственный авиационный технический университет;
Уфимский государственный авиационный технический университет;
покрытия TiN осаждение из плазмы вакуумно-дугового разряда; микротвердость; фазовый состав; вакуумная камера; расположение деталей.;