首页> 外文期刊>Материаловедение >ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НИТРИДНЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ НА (111) Si МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
【24h】

ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НИТРИДНЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ НА (111) Si МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

机译:通过离子注入在(111)Si上获得的氮化物膜的相组成和电性能

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

С помощью метода ионной имплантации азота и титана в подложку (111) Si получены многофазные пленки, состоящие из нитридов, силицидов и оксидов. Исследована температурная зависимость их удельного сопротивления, температурного коэффициента сопротивления и термоЭДС. Показано, что фазовый состав и электрические свойства пленок определяются главным образом дозой облучения титановой мишени ионами азота. Сложные изменения электрических характеристик пленок в основном связываются с наличием перехода "металл-полупроводник", с очень малой толщиной образуемых фаз и с их структурным совершенством.
机译:使用氮气的离子植入方法(111)Si中的氮气和钛,得到由氮化物,硅化物和氧化物组成的多相膜。研究了其电阻率的温度依赖性,抗性温度系数和热孔。结果表明,相对于膜的钛靶的氮离子靶的剂量主要确定相相组成和电性能。薄膜电气特性的复杂变化主要与“金属半导体”过渡的存在结合,具有非常小的形成阶段的厚度和它们的结构完美。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号