クリーンルーム用ロボット：FPD基板搬送ロボットへの取組み

摘要

2011年の地上アナログ放送の終了を控え，テレビ市場はブラウン管からフラットパネルディスプレイ（以下FPD）へ移行している。 FPDパネルメーカは予想をはるかに超えたスピードでマザー基板を拡大させ，生産効率を向上するために次々と新工場を建設している。 この旺盛な設備投資によりFPD基板搬送ロボットは従来主役であったアーク溶接ロボットの規模を抜き去るまでに急成長を遂げている。 基板サイズが大型化してくると，人間での搬送は困難となり，FPD基板搬送ロボットは重要な生産設備の一翼となってきた。このような市場動向のもと，当社では基板サイズの拡大にともない，市場ニーズに応えるべく最適なロボットを開発してきた。 本稿では，当社のFPD基板搬送ロボットへの取組みについて紹介する。