多孔質バルブ金属薄膜、その製造方法および薄膜キャパシタ

摘要

バルブ金属からなり、外界とつながっている複数の微細な孔を有する多孔質の薄膜であって、該薄膜の表面積は該薄膜の表面が平滑であると仮定した場合の表面構の2倍以上であることを特徴とする多孔質バルブ金属薄膜。 前記多孔質の薄膜中の孔の径の大きさが、10nm～1μmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の多孔質バルブ金属薄膜。