各種放電源からの静電気放電の等価回路の定数決定法

摘要

このESD耐性シミュレーションを実現するには，SPICE等の電子回路シミュレータ上にて，現実に発生するESDの様々な放電電流波形を模擬的に発生できる信号源モデルとなる等価回路が必要である．そこで本研究では，実測された放電電流波形を再現できる等価回路のRLCの各定数を，放電電流波形の各パラメータから算出できる定数決定法を開発した．また，本提案手法を用いて，現実に発生した代表的な放電電流波形を再現した等価回路を設計し，その等価回路の再現性を回路シミュレータにて確認した．