カーボンナノチューブのデバイス応用研究動向－MEMS,実装分野などで実用化に進展

摘要

富士通は，08年3月，カーボンナノチューブ(CNT)とグラフェンの複合構造体の形成に成功したと発表した。 SiO{sub}2基板上に金属触媒(Co)を配し，圧力1kPa程度のアセチレンとアルゴンの混合ガスの雰囲気中で500°C程度のCVD処理を行ってCNTを成長させたところ，ある条件下において，数十から数百層のグラフェン層とCNTの複合構造体が形成されている様子が偶然に発見されたという。 この複合構造体は，次のような過程によって形成されることが分かっている。