05/06年の露光装置市場－ArF露光装置の比率は25％程度に成長

摘要

露光装置市場を台数ベース（中古装置含む）でみると，04年はASMLがシェア41.0％を獲得し首位となったものの，05年ではニコンが38.5％，ASMLが36.1％となり僅差でニコンがASMLを抜き首位に1年で返り咲いたものと推定される。 しかし，3社合計の05年露光装置出荷台数は，前年比23.8％減となり2桁のマイナス成長を記録している。 各社の出荷台数を前年比で比べると，ASMLが前年比33.0％減，ニコンが同20.2％減，キヤノンが同13.1％減となっており，ニコンのトップシェア獲得は出荷台数が伸びたためというよりも，むしろ出荷台数の下げ幅が低かったためにトップシェアを獲得できた，というネガティブなものとなっている。 05年における装置種別（中古装置は除く）の比率を見ると，ArF装置の比率が25％程度となっており，13％弱であった04年の比率と比べても大きく伸長したことがうかがえる。 特にASMLはArF露光装置単体におけるシェアでは6割以上を占めており，その強さは圧倒的と言えよう。 また，04年最も出荷されたKrF露光装置は前年比で3割近く販売台数を落とし，i線露光装置も同10％強程度販売台数を低下させたものと推測される。