集積化ガスシステム対応、超臨界CO2プロセス高圧ガス用の各圧力調整器

摘要

国内販売代理店として扱っている米国テスコムのIGS（集積化ユニット）用のダウンマウントサイズ1.125インチと1.5インチ規格対応の圧力調整器は米国トップの半導体製造装置メーカーのスペックになっている事をはじめ、国内主要バルブメーカー数社の採用により、国内トップの半導体製造装置メーカーにも集積化ユニットでスペックインしている。