穴開け加工方法、穴開き部材および液体吐出へッド

摘要

本発明は、機械加工によって液体吐出ヘッドのノズルプレートなどの穴開き部材に微細末を形成するための穴開け加工方法、穴開き部材および液体吐出ヘッドに関するものである。 マイクロマシンなどの発達に伴って微細加工技術への要求度は高まっており、特に、微細穴の形成は微細加工技術の基本となる部分であるからその重要度は高く、小径かつ高アスペクト比の高精度な微細穴の必要性が増している。 このような微細穴を用いるデバイスとして、PZTなどの圧力発生部材と金属板やセラミックスとの積層体で構成される圧力発生器や、インクなどの液体に熱エネルギーを加えることで液体を発泡させて吐出圧力を得る発熱素子を有する圧力発生器を有し、圧力発生器の吐出圧力により液滴を吐出するノズルを備えたオンデマンド方式の液体吐出ヘッドが知られている。