三菱マテ、1，200mm角の柱状晶シリコン 安定製造技術を確立

摘要

三菱マテリアルは、子会社の三 菱マテリアル電子化成（秋田市）と 業界最大級となる1，200mm角の 柱状晶シリコンを安定的に製造す る技術を共同開発した。長年蓄積 してきた高度な精密鋳造技術を使 い、シリコンの高純度化と内部応 力の低減を実現し、大型品の製造技術を確立した。三菱マテの従来 品（1，050mm角）に比べ基板面積を約30％大型化できる。