プローブ顕微鏡“AFM5500M”による微小領域の三次元形状計測

摘要

プローブ顕微鏡は、相対するプローブと試料間 に働く様々な物理量を検出し画像化する装置であ る。1983年IBMチューリッヒ研究所にて、最初 のプローブ顕微鏡の一形態である走査型トンネル顕微鏡（STM:Scanning Tunneling Microscope）が開発され、Si（111）7×7再構成構造を決定する重要な原子像の観察が行われた。開発者のG．BinnigとH．Rohrerは、1986年にノーベル物理学賞を受貧している。