STT－MRAM向け人工格子薄膜の開発

摘要

異種材料を原子層レベルで交互に積層した多層薄膜構造を“人工格子”構造薄膜という。金属材科をベースとする金属人工格子の歴史は30年を超え、現在までに、既存の金属薄膜には無い特性を導き出そうと、あらゆる材料組合せの人工格子構造の作製と構造解析、特性評価がなされ、数多くの知見が蓄積されてきた。