ナノ粒子触媒でカーボンナノチューブ配線形成技術を開発

摘要

富士通と富士通研究所は、ナノサイズの金属微粒子を触媒に使い、多層カーボンナノチューブ（CNT）配線における形成技術を世界で初めて開発したと発表した。 ナノ粒子触媒を用いることでLSIの層間配線（ビア配線）におけるCNTの密度制御が容易になり、最高密度のビア形成を実現したという。 電気伝導率高いカーボンナノチューブ簡単な合成法を開発独立行政法人物質·材料研究機構ナノシステム横能センターナノフロンティア材料グループは、高い電気伝導率を示すカーボンナノチューブ（CNT）を簡単に作製することができる合成法を開発したと発表した。 CNTは細長く丈夫なため、ナノ配線や透明電極、電子放出材料などさまざまな分野での応用が期待されている。しかし、CNTは巻き方（カイラリテイ）により金属的伝導をしたり、半導体になったりと性質が変化する。このため、カイラリティ制御などが試みられているが、成功していない。 CNTをナノ配線などに用いるためには、カイラリティによらない高い伝導率が不可欠であり、その作製法が待ち望まれていた。