短時間できれいに試料前処理ができる新技術－材質を問わずに精密部材の品質を見極める－

摘要

昨今のIT·電子機器をはじめ精密機器はますます機能が高度化し構造が複雑化している。 必然的に、使われる部材はナノレベルで制御された結晶体や複合化合物、また積層や表面コーティングされた材料を多く使うことになる。 そのため、製品の品質には素材の組織や加工部材の状態をいち早く知ることが重要になる。 電子顕微鏡を中心とした精密顕微鏡の利用が必須といわれるのは、ミクロの時点で品質を見極める必要があるためだ。 ただ、どれほど優秀な顕微鏡でも被写体つまり観察試料が適正でないと真の状態は分からない。 試料の前処理が重要といわれる所以である。 今回訪問した三谷氏は、その前処理法において、きれいで迅速にできる技術を開発した。