パワー半導体材料として期待のSiC－その特質と加工技術·応用性－

摘要

電気工ネルギーの有効利用や自動車の電気駆動など、パワー半導体への関心が高まっている。 現用のSiパワ一半導体材料の性能を大きく凌駕する可能性を秘めたSiCパワー半導体材料の特質、加工技術および応用について、将来展望を含めて概述する。